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    時間:2020-11-16 10:57來源:訊技光電作者: 技術部點擊:打印
    作為最著名的衍射效應之一,泰伯(Talbot)效應可以用于光刻技術中以制造周期性納米結構。繼I.-H. Lee等人,我們在六邊形網格上構造了一個圓錐形光柵掩膜版,并以深度方式模擬了Talbot圖像的生成。 特別是,由于光刻過程中使用的紫外光是非偏振的,因此我們在示例中演示了如何為VirtualLab Fusion中的光柵模擬建模非偏振光。
     
    圓錐形相位掩模的Talbot圖像
     
     
    在VirtualLab Fusion中對帶有圓錐體的相位掩模版進行了建模。檢測到不同的Talbot圖像,以使柱形圖案位于主像平面中,而孔圖案出現在次像平面中。 
     
    用于光柵仿真的非偏振光–實例討論
     
     
    示范了在VirtualLab Fusion的光柵仿真建模中,如何以兩個正交偏振態的平均值建模非偏振光的影響。
     
    了解更多信息發送消息至: support@infotek.com.cn / support@infocrops.com 
    官方網站: http://www.afronuru.com / http://www.honglun-seminary.com
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