1. 軟件簡(jiǎn)介
TSolidX基于實(shí)際半導體工藝和掩模版圖設計的3D建模軟件,借助易于使用的UI，可以提供三種類(lèi)型的3D建模結構（實(shí)體模型，曲面三角網(wǎng)格，3D四面體網(wǎng)格）作為可在商業(yè)CAD，CAE，CAM軟件中使用的各種CAx格式數據。
1.1 應用領(lǐng)域
TSolidX能生成多種3D模型：
OLED像素結構；
PCB襯底設計；
散熱器結構；
生物醫學(xué)傳感器；
太陽(yáng)能電池；
1.2 主要功能
內置布局編輯器，并且可以通過(guò)Skill語(yǔ)言界面直接從其他商業(yè)布局運行；
高級mesh生成技術(shù)：用多樣的結構生成功能創(chuàng )建真實(shí)的結構；
可以定義各種堆棧信息和過(guò)程條件（厚度，臺階覆蓋率，平面度，錐度模型，非選擇性蝕刻，蝕刻阻擋層等），這些各種高級功能可以幫助生成準確的3D網(wǎng)格結構；
提供了蝕刻工藝選項，包括非選擇性蝕刻，蝕刻停止劑，濕法蝕刻功能，半色調掩模進(jìn)行的部分蝕刻；
提供3種3D網(wǎng)格類(lèi)型：錐形，錐形保形和曼哈頓；
附加布局程序，為“ TSolid Viewer”，可以識別GDS文件以及2D掩膜板設計；
有多種類(lèi)型的CAx格式文件可用于導出數據：對于實(shí)體模型，提供了step和IGES格式，對于3D三角形網(wǎng)格，提供了STL, Stanford triangle, Nastran, alias/wavefront/autocad dxf等，為3D四方網(wǎng)格提供了Nastran，ansys，Gmsh，abaqus輸入格式，為滿(mǎn)足客戶(hù)的需求，也可以添加特定的格式文件；
提供自適應和非結構化網(wǎng)格算法，可以控制邊緣，表面和體積條件；
通過(guò)使用變量功能可以非常輕松快捷地生成各種3D網(wǎng)格結構，可設置的變量參數：厚度，水平度（平面化），錐角和寬度，CD余量，圓角倒圓和移位距離；
支持分布式和并行計算方法
1.3 應用舉例
下圖顯示了帶有體積網(wǎng)格的太陽(yáng)能電池的輸出文件，從正面，側面和俯視圖來(lái)看，該文件稱(chēng)為3D四方網(wǎng)格。
執行變形分析
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